חנקן טריפלואוריד (NF3) גז טוהר גבוה
מידע בסיסי
| CAS | 7783-54-2 |
| EC | 232-007-1 |
| UN | 2451 |
מה זה החומר הזה?
חנקן טריפלואוריד (NF3) הוא גז חסר צבע וריח בטמפרטורת החדר ובלחץ אטמוספרי. זה יכול להיות נוזלי בלחץ מתון. NF3 יציב בתנאים רגילים ואינו מתפרק בקלות. עם זאת, הוא יכול להתפרק כאשר הוא נחשף לטמפרטורות גבוהות או בנוכחות זרזים מסוימים. ל-NF3 פוטנציאל התחממות גלובלי גבוה (GWP) כאשר הוא משוחרר לאטמוספירה.
היכן להשתמש בחומר זה?
חומר ניקוי בתעשיית האלקטרוניקה: NF3 נמצא בשימוש נרחב כחומר ניקוי להסרת שאריות מזהמים, כגון תחמוצות, ממשטחי מוליכים למחצה, לוחות תצוגת פלזמה (PDP) ורכיבים אלקטרוניים אחרים. זה יכול לנקות ביעילות משטחים אלה מבלי לפגוע בהם.
גז תחריט בייצור מוליכים למחצה: NF3 משמש כגז תחריט בתהליך הייצור של מוליכים למחצה. הוא יעיל במיוחד בתחריט סיליקון דו חמצני (SiO2) וסיליקון ניטריד (Si3N4), שהם חומרים נפוצים המשמשים בייצור מעגלים משולבים.
ייצור תרכובות פלואור בטוהר גבוה: NF3 מהווה מקור רב ערך של פלואור לייצור תרכובות שונות המכילות פלואור. הוא משמש כמבשר בייצור של פלואורפולימרים, פלואורופחמנים וכימיקלים מיוחדים.
יצירת פלזמה בייצור מסך שטוח: NF3 משמש יחד עם גזים אחרים ליצירת פלזמה בייצור צגי פאנל שטוחים, כגון צגי גביש נוזלי (LCD) ו-PDP. הפלזמה חיונית בתהליכי השקיעה והתחריט במהלך ייצור הפאנל.
שים לב שיישומים ותקנות ספציפיות לשימוש בחומר/מוצר זה עשויים להשתנות בהתאם למדינה, לתעשייה ולמטרה. פעל תמיד לפי הנחיות הבטיחות והתייעץ עם מומחה לפני השימוש בחומר/מוצר זה בכל יישום.
